近日,工业和信息化部启动新一轮国家级储备中试平台申报工作。公司严格对标申报要求,依托制造业中试数字化管理服务平台完成申报工作。经四川省经济和信息化厅组织评审,中科卓尔“光刻石英掩模版研制及其成套精密加工工艺设备中试平台”顺利通过审核,成功入选国家级储备中试平台。

中试平台是衔接技术研发与产业化落地、培育新质生产力的重要载体。本次入选,有利于公司集聚创新资源、承接重大科研项目、加快科技成果转化落地,持续夯实科创平台建设根基,赋能企业长效稳健发展。
高端光刻石英掩模版是半导体产业链关键基础材料,也是实现核心技术自主可控、推进产业国产替代的重点方向。公司始终坚持创新驱动,深耕关键技术攻关,筑牢研发、中试、精密制造、产业化全链条硬实力。本次入选是主管部门对公司科研创新实力的认可,也进一步坚定了我们深耕高端半导体精密材料、迭代升级产业平台的决心。

未来,公司将紧抓国家级平台建设机遇,坚持自主技术攻坚,持续完善全链条创新体系,突破光刻石英掩模版各项工艺难关,夯实产业化能力,全力推进半导体关键基础材料国产化进程,为国内半导体产业链供应链安全稳定、行业高质量发展贡献中科卓尔力量。