高精度扫描点应力与面应力检测突破

2021年11月，成都中科卓尔精密仪器有限公司自主研发的点与面偏光应力检测技术及设备取得突破性进展，预计年底有望推出实现国产替代的产品型号系列。

随着现代技术的发展，平板玻璃的生产工艺有了长足的发展，但玻璃中存在的应力一直是影响玻璃质量的关键因素。应力不均匀的残留在玻璃内部，对玻璃的机械强度和热稳定性产生极其不利的影响，同时也会改变玻璃的密度、光学常数、热膨胀系数等。因此应力的检测具有十分重要的意义，不仅可以对玻璃的使用寿命进行合理预估、检验玻璃制品的质量，还可以为玻璃、塑料材料加工过程的参数设置提供指导，测定光学材料、透镜等的相位延迟量和结晶材料的应力等，分析生产过程或产品失效的原因。

中科卓尔经过近二年的研发投入，产品迭代，基于光弹效应（应力双折射）针对不同应用场景同时推出两种检测设备，并具备多波段的应力检测研发能力，突破了核心算法，提高了检测精度及效率，适用性更强。

检测原理

当一束光入射晶体后，若晶体内部存在内应力，透过晶体后的出射光会出现两个偏振方向，因速度的不同使两分量通过玻璃的时间不同，导致存在应力双折射光程差，由此可算出对应应力信息。

 

（1） 偏光应力仪——面测量

产品特性：

Ø 采用大口径成像探测方式，测量速度快，精度高，重复性好

Ø 由于采用高分辨成像系统，可以发现气泡等材料内部缺陷。

Ø 数字化显示应力分布，直观反映缺陷大小（应力数值和应力区域大小）和位置（空间分辨率0.01mm²）

Ø 可实现在线测量

Ø 主要应用于光学材料、晶体的内应力评测，也可以用于镜头、玻璃制品、塑料制品等内在残余应力测试。

技术指标：

（2） 光弹应力仪——点测量法

产品特性：

Ø 利用光弹调制法测量光学元件产生的双折射

Ø 用于检测玻璃等透明材料，塑料的应力分布

Ø 可实现在线测量，测量快速 

技术指标：

Ø 测量精度高，可以达到0.02nm；

Ø 扫描范围广，扫描范围从mm量级到m量级；

Ø 测量速度快，10Hz。

Ø 定制拼接扫描口径可达2m以上。